更新時間:2024-05-16
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廠商性質:代理商
生產(chǎn)地址:
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL
應用領域:
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測量
計量
產(chǎn)品參數(shù):
型號:P-541.ZSL
主動軸:Z
集成傳感器:應變片傳感器
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程:100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:-毫弧度
Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%
Z向上的重復精度:<10納米
θX、θY向上的重復精度:–微弧度
θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度
產(chǎn)品參數(shù):
型號:P-541.TSL
主動軸:Z,θX,θY
集成傳感器:應變片傳感器
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程:100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度
Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.25微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%
Z向上的重復精度:<10納米
θX、θY向上的重復精度:0.05微弧度
θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL