德國SPS(POLOS)勻膠機(jī)儀器POLOS SPIN4000A

產(chǎn)品說明
我們產(chǎn)品組合中的新產(chǎn)品是POLOS SPIN4000A。這種強(qiáng)大的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)系統(tǒng)是專為研究和所有應(yīng)用的可變過程。它的特點(diǎn)是能夠全自動(dòng)操作。POLOS SPIN4000A代表了下一代全場旋涂系統(tǒng)。

POLOS SPIN4000A是一款獨(dú)立的全自動(dòng)旋涂系統(tǒng)。鋼制外殼保證了無污染的工作區(qū)域，其組件確保了可重復(fù)、可編程的旋轉(zhuǎn)過程，可反復(fù)旋轉(zhuǎn)高達(dá)300 x 300mm毫米的基板。

特征

多達(dá)3個(gè)噴嘴的自動(dòng)光刻膠分配器(可選)
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋(可選)

可定制，全自動(dòng)操作
無污染工作區(qū)
組件
多達(dá)3個(gè)噴嘴的自動(dòng)光刻膠分配器(可選)

產(chǎn)品編號(hào)
自旋4000
材料
鋼制外殼
基板尺寸
300毫米或8英寸x 8英寸正方形基板
模型
獨(dú)立的
系統(tǒng)類型
自動(dòng)化系列

德國SPS(POLOS)勻膠機(jī)儀器POLOS SPIN4000A