德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-811.I2/I2V

一、H-811.I2/I2V六軸小型位移臺產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、±17 毫米 / ±21度運(yùn)動行程

2、5公斤負(fù)載容量

3、重復(fù)精度±0.06微米

4、運(yùn)動速度20 毫米/秒

5、采用無刷直流電機(jī)，因?yàn)闊o刷直流電機(jī)適合高旋轉(zhuǎn)速度，可在保證精度的同時無磨損地平穩(wěn)運(yùn)行。

二、H-811.I2/I2V六軸小型位移臺產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

H-811.I2/I2V六軸小型位移臺主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榭蒲蓄I(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域，用于微制造，醫(yī)藥技術(shù)，刀具檢查。

三、H-811.I2/I2V六軸小型位移臺產(chǎn)品產(chǎn)品參數(shù)：

型號：H-811.I2/.I2V

行程參數(shù)：

主動軸：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±17,±16毫米

Z向上的行程：±6.5毫米

θX、θY向上的行程：±10,±10度

θZ向上的行程：±21度

精度參數(shù)：

設(shè)計(jì)分辨率：5納米

X、Y向上的位移：0.2微米

Z向上的位移：0.08微米

θX、θY向上的位移：2.5微弧度

θZ向上的位移：5微弧度

X、Y向上的空回：0.2微米

Z向上的空回：0.06微米

θX、θY向上的空回：2微弧度

θZ向上的空回：4微弧度

X、Y向上的重復(fù)精度：±0.15微米

Z向上的重復(fù)精度：±0.06微米

θX、θY向上的重復(fù)精度：±2微弧度

θZ向上的重復(fù)精度：±3微弧度

X、Y和Z向上的速度：20/10毫米/秒

θX、θY、θZ向上的速度：500/250毫弧度/秒

Typ.X、Y和Z向上的典型速度：10/5毫米/秒

Typ.θX、θY、θZ向上的速度：240/120毫弧度/秒

負(fù)載參數(shù)：

負(fù)載能力（底板為水平方向）：5千克

負(fù)載能力（底板為任意方向）：2.5千克

保持力（斷電、底板為水平方向）：15牛

保持力（斷電、底板為任意方向）：2.5牛

其他參數(shù)：

電機(jī)類型：BLDC電機(jī)

工作溫度范圍：0到50°C

質(zhì)量：2.2千克

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-811.I2/I2V